Глоссарий технологии обработки поверхностей
Диоксид кремния
2, наиболее часто встречающееся соединение земной коры, твердое и термостойкое, очень хороший изолятор. Часто применяется в микроэлектронике в качестве изоляционного слоя, получаемого окислением чистого кремния. Обрабатывается травлением галогенсодержащими (в частности, фтористыми) газами в плазме, открывая расположенный под ним кремний .
