
Glossaire de la technologie de surface
Gravure par faisceau ionique
La gravure par faisceau ionique (en anglais : Ion Beam Etching) fair partie des méthodes de gravure à sec. À l'encontre de la gravure ionique, les particules réactives sont mises à disposition dans une source d'ions séparée et extraites dans la chambre de gravure par une grille d'accélération.