Zepto (Low Cost / Low Budget)
Systèmes plasma basse pression (nettoyage au plasma)
Demande Fiche technique (PDF)L'UNITÉ PLASMA DE LABORATOIRE LOW COST ZEPTO avec commande manuelle et Basic PC est principalement utilisée dans les secteurs suivants :
Production en petites séries, Analytique (MEB, MET), Technologie médicale, Stérilisation, Services de recherche et développement, Archéologie, Ingénierie textile, Plasturgie
Données techniques
Zepto One
Semi-automatique kHz / Semi-automatique MHz
Dimensions
L: 269 mm H: 176 mm P: 324 mm
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Chambre à vide
Verre borosilicaté
rond, avec couvercle
Ø: 105 mm
P: 200 mm
Volume env. 1.7 L
Alimentation en gaz
1 x vanne à pointeau
Générateur
100 kHz | Puissance 0 - 30 W
13,56 MHz | Puissance 0 - 30 W
Électrode
Paire d'électrodes à l'extérieur de la chambre à vide
Commande
Commande semi-automatique
Alimentation électrique
230 V | 50 - 60 Hz
Mesure de la pression
-
Pompe
Capacité d'aspiration min. 3 m³/h
Zepto
Semi-automatique kHz / Semi-automatique MHz
Dimensions
L: 425 mm H: 185 mm P: 450 mm
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Chambre à vide
Verre borosilicaté
rond, porte à charnière
Ø: 105 mm
P: 300 mm
Volume env. 2.6 L
Alimentation en gaz
2 x vanne à pointeau
Générateur
40 kHz | Puissance 0 - 100 W
13,56 MHz | Puissance 0 - 200 W
Électrode
Paire d'électrodes à l'extérieur de la chambre à vide
Commande
Commande semi-automatique
Alimentation électrique
230 V | 50 - 60 Hz
Mesure de la pression
Pirani
Pompe
Capacité d'aspiration min. 3 m³/h
Zepto
PC kHz / PC MHz
Dimensions
L: 425 mm H: 185 mm P: 450 mm
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Chambre à vide
Verre borosilicaté
rond, porte à charnière
Ø: 105 mm
P: 300 mm
Volume env. 2.6 L
Alimentation en gaz
2 x MFC
Générateur
40 kHz | Puissance 0 - 100 W
13,56 MHz | Puissance 0 - 200 W
Électrode
Paire d'électrodes à l'extérieur de la chambre à vide
Commande
Commande Basic-PC 7" (Windows Embedded Compact 7)
Alimentation électrique
230 V | 50 - 60 Hz
Mesure de la pression
Pirani
Pompe
Capacité d'aspiration min. 3 m³/h
Zepto RIE
Semi-automatique MHz
Dimensions
L: 425 mm H: 310 mm P: 450 mm
Alimentation électrique
230 V | 16 A
Chambre à vide
Aluminium
rond, avec couvercle
Ø: 190 mm
H: 60 mm
Volume env. 1 L
Alimentation en gaz
2 x vanne à pointeau
Générateur
13,56 MHz | Puissance 0 - 200 W
Électrode
Électrode à l'intérieur de la chambre à vide - Ø : 160 mm pour plaquette de 6" max.
Commande
Commande semi-automatique
Alimentation électrique
230 V | 50 - 60 Hz
Mesure de la pression
Pirani
Pompe
Capacité d'aspiration min. 3 m³/h