Плазменная камера

технологический газ находится под низким давлением. Камера выполнена как напорный резервуар. Она состоит из материала, не поддающегося травлению используемыми газами. Часто это высококачественная сталь. Для некоторых процессов необходим реципиент из высокочистого кварцевого стекла.