Плазменные установки низкого давления

В плазменной технике низкого давления газ за счет подачи энергии возбуждается в вакууме. Возникают высокоэнергетические ионы и электроны, а также другие реактивные частицы, формирующие плазму. Это позволяет эффективно изменять свойства поверхностей.