Благородный газ

аргон, криптон, ксенон и радон. Они характеризуются тем, что внешняя электронная оболочка их атомов полностью заполнена электронами . По этой причине благородные газы не вступают в соединения с другими атомами, т.к. не отдают валентные электроны и не принимают валентные электроны других атомов. Таким образом, благородные газы всегда существуют в атомарной форме и не образуют молекулы. Если благородные газы используются в качестве технологических газов в плазменной технике , они не могут образовывать радикалы, а только ионы . Также, ввиду того, что возбужденные атомы не вступают в реакцию с атомами и молекулами субстрата, химическое плазменное травление не происходит. Особая значимость благородных газов в плазменной технике основана на том, что они могут использоваться во всех случаях, где присутствует необходимость в чисто физическом ионном травлении . В первую очередь речь идет о необходимости в совершенно неизотропном эффекте травления. Из всей группы благородных газов в плазменной технике используется практически только аргон. Ионы гелия ввиду их малой массы дают лишь минимальный эффект травления. Неон благодаря светящейся желто-оранжевым цветом плазме находит применение в неоновых трубках. Тяжелые благородные газы – ксенон, криптон и радон – встречаются редко и поэтому очень дороги. Аргон доступен в больших объемах по невысоким ценам (0,93% земной атмосферы) и обладает достаточной массой для хорошего эффекта травления.