Gas noble

Los gases nobles son los elementos químicos helio, neón, argón, criptón, xenón y radón, caracterizados porque la capa exterior de electrones de sus átomos está llena por completo de electrones. Por este motivo, los gases nobles no establecen enlaces con otros átomos, dado que no pueden ni entregar electrones de valencia ni adoptarlos de otros átomos. Por lo tanto, los gases nobles siempre están presentes en forma atómica y no crean moléculas. Cuando se utilizan gases nobles como gases de proceso en la tecnología del plasma, no pueden formar radicales, sino únicamente iones. Además, como los átomos excitados no protagonizan reacciones con átomos ni moléculas del sustrato, no se produce ningún grabado con plasma químico. La importancia particular de los gases nobles en la tecnología del plasma radica en que pueden utilizarse siempre que se desee lograr un grabado iónico puramente físico. Esto sucede, sobre todo, cuando debe lograrse un efecto de grabado plenamente anisotrópico. Del grupo de los gases nobles, en la tecnología con plasma se utiliza argón casi en exclusiva. Los iones de helio apenas ejercen efecto de grabado a causa de su reducida masa. El neón, puesto que forma plasma brillante de color amarillo anaranjado, se emplea en tubos de neón. Los gases nobles pesados —el xenón, el criptón y el radón— son especialmente infrecuentes y, en consecuencia, caros. En cambio, el argón está disponible en grandes cantidades a bajo coste (representa el 0,93 % de la atmósfera terrestre) y posee una masa suficiente para provocar un buen efecto de grabado.