Microscopio elettronico

Un microscopio elettronico rileva la geometria di un campione non con luce visibile, bensì con un fascio di elettroni. Poiché gli elettroni veloci hanno una lunghezza d'onda molto più piccola della luce visibile e la risoluzione massima di un microscopio dipende direttamente dalla lunghezza d'onda, un microscopio elettronico è in grado di determinare strutture molto più piccole. Il limite di risoluzione di un microscopio elettronico è di circa 0,1 nm, mentre il limite di risoluzione di un microscopio ottico è di 200 nm.  I campioni per la microscopia elettronica vengono spesso sottoposti a pulizia al plasma di precisione. Diener electronic offre impianti al plasma appositamente concepiti per la microscopia elettronica (vedere ⇒ Impianti al plasma).