Microscope électronique

Un microscope électronique enregistre la géométrie d'un échantillon non pas avec de la lumière visible, mais avec un faisceau électronique. Vu que des électrons rapides ont une longueur d'onde beaucoup plus courte que la lumière visible et que la résolution maximale d'un microscope dépend directement de la longueur d'onde, un microscope électronique peut résoudre des structures beaucoup plus petites. La limite de résolution pour un microscope électronique est d'environ 0,1 nm et pour un microscope optique de 200 nm.  Les échantillons pour la microscopie électronique sont souvent nettoyés extrêmement précisément au plasma.Diener electronic propose des systèmes plasma spéciaux pour la microscopie électronique (voir ⇒ Systèmes plasma).