Lexikon der Oberflächentechnik

Elektronenmikroskop

Ein Elektronenmikroskop erfasst die Geometrie einer Probe nicht mit sichtbaren Licht, sondern mit einem Elektronenstrahl. Da schnelle Elektronen eine sehr viel geringere Wellenlänge haben als sichtbares Licht und das maximale Auflösungsvermögen eines Mikroskops unmittelbar von der Wellenlänge abhängt, kann ein Elektronenmikroskop viel kleinere Strukturen auflösen. Die Grenze des Auflösungsvermögens liegt bei einem Elektronenmikroskop bei etwa 0,1 nm und bei einem Lichtmikroskop bei 200 nm. Proben für die Elektronenmikroskopie werden oft mittels Plasma feinstgereinigt. Diener electronic bietet spezielle Plasmaanlagen für die Elektronenmikroskopie an (siehe ⇒ Plasmaanlagen).

Durch die unterschiedliche Aufnahmetechnik lassen sich Elektronenmikroskop in Transmissionselektronenmikroskopen und Sekundärelektronenmikroskope unterteilen.

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