Метод LIGA

LIGA – метод формования в производстве мельчайших геометрических структур и микромеханических деталей. В целом метод LIGA соответствует фотолитографическому методу в изготовлении печатных плат.

  1. Если субстрат обладает изолирующими свойствами, он покрывается электропроводящим слоем (затравочная подложка)
  2. На него по всей поверхности наносится слой фоторезиста, преимущественно это толстый слой позитивного фоторезиста.
  3. На следующем этапе фоторезист засвечивается в соответствии с желаемой структурой.
  4. После обработки металлический субстрат или затравочная подложка открывается в соответствии со структурой формуемых деталей или инструментов (в зависимости от последующей обработки).
  5. Теперь методом гальванизации создается металлический слой. Разумеется, он нарастает только на металлическом субстрате или затравочной подложке, но не на участках, закрытых фоторезистом.
  6. После удаления (травления) слоя фоторезиста остается чисто металлическая структура. Теперь, кроме прочего:
    Можно удалить травлением субстрат и затравочную подложку. Остается чисто металлическая структура.
    После удаления фоторезиста можно продолжить гальванизацию. Гальванизированная металлическая структура по мере нарастания металлического слоя становится все прочнее. Металлическую часть позже можно установить в качестве штамповой вставки для микролитья под давлением.

Рентгенолитографический метод позволяет создавать детали с очень гладкими и почти вертикальными стенками. Возможны расстояния между структурами от 0,2 мкм, высота контуров до нескольких миллиметров и размерное соотношение значительно выше 50 единиц.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете