Подтравливание

травлении структур в кремнии и при травлении печатных плат с помощью масок, в частности фотолитографическими методами, общая цель заключается в том, чтобы обработанная структура представляла точное отображение защитной маски. Идеальный результат достигается при неизотропном действии травления строго вертикально к поверхности субстрата. Практически полным неизотропным эффектом обладает физическое или ионное травление. Методы жидкого химического травления и химического сухого травления (плазменное травление) обладают изотропным действием. При изотропном травлении с использованием защитной маски эффект травления действует не только вертикально к поверхности субстрата, но и во всех других направлениях, в том числе параллельно субстрату. Из-за этого травление в некоторой мере осуществляется также под маской для травления. Этот эффект называют подтравливанием. Термином «Перетравливание» описывается совсем другой процесс, не являющийся противоположностью подтравливанию.