
DRIE
Неизотропное реактивное ионное травление в кремнии с глубиной травления до 100 мкм. Чрезвычайно высокое размерное соотношение достигается путем пассивирования стенок канавок.
info@plasma.com
+49 7458 999 31 0
service@plasma.com +49 7458 999 31 200

Неизотропное реактивное ионное травление в кремнии с глубиной травления до 100 мкм. Чрезвычайно высокое размерное соотношение достигается путем пассивирования стенок канавок.