DRIE

Неизотропное реактивное ионное травление в кремнии с глубиной травления до 100 мкм. Чрезвычайно высокое размерное соотношение достигается путем пассивирования стенок канавок.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете