Chambre à plasma
On donne le nom de chambre à la chambre à plasma ou au récipient dans lequel se trouve le gaz de traitement en basse pression. La chambre est conçue en tant que réservoir sous pression. Elle se compose d'un matériau ne pouvant pas être gravé par les gaz de traitements utilisés et est très fréquemment réalisée en acier inoxydable. Certains processus impliquent la présence d'un récipient en verre de quartz extrêmement pur.
