Grabador de obleas

El grabado de obleas de silicio constituye una aplicación importante de la tecnología del plasma de baja presión. Las obleas pueden grabarse en un lote (pila). Para esta aplicación, Diener electronic cuenta con un bote de vidrio de cuarzo propio destinado a alojar la pila. Los sistemas de plasma optimizados para el grabado de obleas de silicio reciben el nombre de grabadores de obleas. En particular, un grabado de obleas dispone de un reactor de tubo (reactor de barril) y, básicamente, de un acoplamiento de microondas.