Устройство травления пластин

кремниевых пластин принадлежит к важным областям применения плазменной техники низкого давления. Пластины можно обрабатывать травлением целыми партиями (стопками). Diener electronic предлагает для этой цели лодочку из кварцевого стекла, в которой можно размещать стопки. Плазменные установки, оптимизированные для обработки кремниевых пластин, называют устройствами травления пластин. Устройство травления пластин оснащается трубным реактором (бочкообразным) и системой микроволновой подачи энергии.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете