Устройство травления пластин

кремниевых пластин принадлежит к важным областям применения плазменной техники низкого давления. Пластины можно обрабатывать травлением целыми партиями (стопками). Diener electronic предлагает для этой цели лодочку из кварцевого стекла, в которой можно размещать стопки. Плазменные установки, оптимизированные для обработки кремниевых пластин, называют устройствами травления пластин. Устройство травления пластин оснащается трубным реактором (бочкообразным) и системой микроволновой подачи энергии.