Graveur de wafers

La gravure des plaquettes de silicium est une application importante de la technologie plasma basse pression. Les wafers peuvent être gravés en lot (piles). Pour cette application, Diener electronic propose un récipient en verre de quartz permettant de maintenir la pile. Les systèmes plasma optimisés pour la gravure des plaquettes de silicium sont appelés graveurs de wafers En particulier, une machine à graver les plaquettes est équipée d'un réacteur à tube et généralement d'un couplage micro-ondes.