Gravure

Procédé dans lequel la matière est retirée d'une surface, généralement par réaction chimique. Cependant, des processus physiques sont également appelés processus de gravure (gravure physique, gravure ionique). Les procédés de gravure sont en particulier :

• Le nettoyage de surfaces par enlèvement de couches d'oxyde ou de couches passives
• La structuration de surfaces, par exemple pour des raisons optiques (matage) ou pour améliorer l'adhérence d'encollage par agrandissement de surface
• La création de structures géométriques en recouvrant des parties d'une surface avec un masque, le procédé de gravure n'étant efficace que dans les zones librement accessibles.

Les procédés de gravure s'effectuent soit par immersion dans des solutions acides ou alcalines, soit par traitement au plasma (« gravure au plasma ») dans un gaz de traitement approprié. Exemples d'application des procédés de gravure par plasma silicium, SiO₂ et Si₄N₃ en microélectronique, métaux avec oxyde de surface ainsi que plastiques à faible adhérence tels que le PTFE.