Radiación UV
La radiación electromagnética con una longitud de onda menor (frecuencia mayor) que la de la luz visible se denomina "radiación ultravioleta" o radiación UV. Este nombre hace referencia a la radiación que va más allá del "violeta", la luz de onda más corta que todavía resulta visible. La frontera entre el violeta y la radiación UV que deja de ser visible se sitúa en 380 nm. El rango de radiación UV abarca hasta el de los rayos X, cuya longitud de onda es inferior a 4 nm (según otras fuentes, inferior a 1 nm). La radiación solar representa radiación UV. No obstante, la radiación con una longitud de onda inferior a 280 nm no llega a la superficie terrestre, sino que es absorbida en la atmósfera superior. Este tipo de radiación de onda corta se denomina radiación ionizante, ya que es capaz de excitar átomos con tal intensidad que se transformen en iones y de dividir moléculas para convertirlas en radicales. En este proceso, se absorbe radiación UV. En la capa de aire de la Tierra, la radiación UV ionizante provoca la división de moléculas de O2 en radicales de oxígeno. Dichos radicales pueden reagruparse para formar O2 o bien O3. Las moléculas de O3 reciben el nombre de ozono. Esta reacción provoca que prácticamente toda la radiación UV ionizante se absorba en capas muy altas de la atmósfera. En consecuencia, en las capas más bajas no se produce formación de radicales ni, por tanto, de ozono en una magnitud significativa. Así, la "capa de ozono" queda limitada a las capas superiores de la atmósfera. Por el contrario, se emite radiación UV —en particular, radiación ionizante— cuando iones positivos atrapan electrones libres y, con ello, se recombinan para formar átomos neutros. En el plasma, la recombinación para formar átomos en estado básico surge en paralelo a la ionización, la excitación y la formación de radicales. Por este motivo, también se genera radiación UV continuamente (durante el retorno de los átomos excitados al estado básico, se produce radiación visible, de menor energía: el brillo típico del plasma). La radiación UV generada en el plasma también causa formación de radicales en las superficies de los sustratos, con lo que convierte componentes sólidos en partículas volátiles. Este proceso cobra gran importancia en la limpieza, la activación y el grabado en el plasma.
