Аргон

Благородный газ , широко распространенный в природе (почти 1% земной атмосферы) и благодаря полной химической инертности часто используемый в качестве защитного газа. В плазменной очистке и плазменной активации часто используется как технологический газ, не вступающий в реакцию с субстратом, но обеспечивающий снятие загрязнений (->эффект микропескоструйной обработки), подходящий для неизотропного физического травленияионное травление IE) и создания радикальных центров на органических полимерах .