Photoréserve

Résine photosensible, film liquide ou solide pouvant être développé après exposition, de préférence avec de la lumière UV. Résines photosensibles positives Les résines photosensibles positives sont éliminées par exposition ou modifiées chimiquement (modification du caractère acide), de sorte que les zones exposées sont dissoutes par des révélateurs spéciaux (hydrocarbures chlorés, soude caustique diluée ou solution de soude, eau chaude, etc.). Dans le cas de résines photosensibles négatives, le processus est inversé et les zones exposées sont plus fortement réticulées. En fonction de l'épaisseur et du comportement chimique, une distinction est faite entre la galvanoplastie et les résistances à la gravure.
Lors de la gravure au plasma de structures fines, les zones couvertes par les photoréserves ne sont pas gravées. Les photoréserves elles-mêmes peuvent être enlevées par des processus de gravure au plasma.