Glossaire de la technologie de surface
Oxygène
Élément chimique portant le numéro atomique 8, c'est-à-dire divalent. Très réactif, donc impliqué dans de nombreuses liaisons. Sous forme élémentaire, un gaz moléculaire (O2). Dans de petites traces aussi en tant qu'ozone (O3). L'oxygène est l'élément le plus fréquent de la croûte terrestre et il constitue 21% de l'atmosphère terrestre.
Dans la technologie plasma , il est un gaz de traitement très important, jouant un rôle majeur dans le nettoyage au plasma et l' activation plasma des plastiques.