Oblea

Las obleas son láminas de material semiconductor que constituyen el material de base de los componentes semiconductores. Las obleas suelen estar compuestas de silicio monocristalino; con una frecuencia mucho menor, de silicio policristalino, GaAs (arseniuro de galio) u otros semiconductores. Las obleas de silicio monocristalino son circulares y se obtienen cortando monocristales de silicio en láminas. Idealmente, los monocristales de silicio y, en consecuencia, las obleas constan de silicio de alta pureza, cuyas características pueden modificarse en pasos de trabajo posteriores, en particular, mediante grabado y dopaje. Para realizar estos tratamientos, está muy extendido el uso de la tecnología del plasma.