Glossaire de la technologie de surface

Wafer

Les wafers sont des plaquettes en matériau semi-conducteur servant de matériau de base aux éléments semi-conducteurs à monter. Les wafers se composent la plupart du temps de siliciummonocristallin, rarement de silicium polycristallin, GaAs (arséniure de gallium) ou d'autres semi-conducteurs. Les plaquettes de silicium monocristallin sont circulaires et sont formées en découpant des monocristaux de silicium en plaquettes. Dans un cas idéal, les monocristaux de silicium et donc les plaquettes sont constitués de silicium de haute pureté, dont les propriétés sont influencées en particulier par  gravure et dopage lors des étapes suivantes. La technologie plasma est souvent utilisée pour ce traitement.

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