Пластина

кремния, в некоторых случаях из поликристаллического кремния, GaAs (арсенид галлия) или других полупроводников. Монокристаллические кремниевые пластины имеют круглую форму и изготавливаются путем отрезания слоев монокристаллов кремния. В идеальном случае пластины состоят из кремния высокой чистоты, свойства которого изменяются в последующих рабочих операциях, например травления и легирования. При такой обработке часто используется плазменная техника.