Plaquettes de silicium

Disque mince de silicium monocristallin produite par sciage d'un lingot. Un lingot est un monocristal cylindrique généré par extraction du silicium fondu. La tendance est aux lingots de plus en plus gros. Actuellement, la limite pour les lingots disponibles dans le commerce est un diamètre de 300 mm, mais la tendance va vers 450 mm. L'épaisseur des disques est inférieure à 1 mm, mais plus le diamètre est grand, plus l'épaisseur est importante. 
Des centaines à des milliers de circuits électroniques peuvent être placés sur une plaquette (wafer). Mais ils sont également utilisés non découpés pour les panneaux photovoltaïques. Dans l'électronique des semi-conducteurs, une plaquette de silicium moderne est caractérisée par un « plat », une petite section d'un arc de cercle qui caractérise l'orientation du cristal et le dopage. Pour le nettoyage au plasma ou la gravure plasma des wafers en piles peuvent être traités ensemble dans des récipients en verre de quartz.