Загрязнение

плазменной техники загрязнением считается любой, в том числе невидимый, нежелательный слой материала на поверхности субстрата. В целом, на всех изделиях – только что произведенных или хранившихся на складе – присутствуют загрязнения в форме отложений из окружающей среды, вспомогательных средств из производства или испарений из самого субстрата. Для обеспечения безупречной дальнейшей обработки почти всегда требуется очисткасубстратов от загрязнений. Посредством плазменной обработки с субстратов можно полностью удалить практически любые загрязнения. При очистке в кислородной плазме удаляются углеводороды любых типов, а в водородной плазме снимаются оксидные слои. Загрязнения, не поддающиеся этим методам, можно практически вне зависимости от их химических свойств удалить физическим травлением в плазме благородного газа, действующей почти на любые субстанции (не селективно).