Encrassement

Au sens de la technologie plasma, on entend par encrassement toute couche de matériau indésirable à la surface d'un substrat, même si elle n'est pas visible. Tous les substrats, qu'ils viennent d'être produits ou qu'ils soient stockés, contiennent en général des encrassements sous forme de dépôts environnementaux, d'auxiliaires de production ou d'évaporation du substrat lui-même. Afin d'assurer la suite irréprochable du traitement, les substrats doivent donc presque toujours être nettoyés des saletés qu'ils contiennent. Grâce au traitement au plasma, les substrats peuvent être débarrassés de pratiquement tous les encrassements sans laisser de résidus. Le nettoyage en plasma d'oxygène permet d'éliminer les hydrocarbures de toutes sortes et en plasma d'hydrogène les couches d'oxyde. Les encrassements ne pouvant pas être éliminés par ces procédés peuvent être éliminés pratiquement indépendamment de leurs propriétés chimiques par gravure physique dans le plasma de gaz rare, qui agit sur presque toutes les substances (« non sélectif »).