Напыление

PVD), при котором металлы, сплавы или химические соединения выделяются за счет подачи тепловой энергии или бомбардировки частицами в высоком вакууме. Иными словами, материал покрытия различными способами переводят из твердого состояния в газовую фазу, которая затем конденсируется на поверхности субстрата. К методам PVD также относятся ионное осаждение и катодное распыление (ионно-плазменное нанесение). Для реализации PVD-систем требуются вакуумные установки, работающие с высоким вакуумом с давлением <10^-5 мбар.