Dépôt en phase vapeur

Méthode de revêtement (processusPVD) par laquelle des métaux, des alliages ou des composés chimiques sont déposés sous vide poussé par application d'énergie thermique ou par bombardement de particules, c'est-à-dire que le matériau de revêtement est transféré de différentes manières d'une phase solide à une phase vapeur et se condense ensuite sur une surface de substrat Parmi les procédés PVD, on compte le placage ionique et la pulvérisation (pulvérisation). Pour la réalisation de systèmes PVD, la présence de systèmes de vide pour la génération de pressions de vide élevées <10^-5 mbars est nécessaire.