Глоссарий технологии обработки поверхностей
Рекомбинация
Обратный процесс ионизации за счет объединения свободных электронов с положительными ионами. При рекомбинации высвобождается вложенная в ионизацию энергия. Она излучается в УФ-диапазоне. Это УФ-излучение вызывает последующие плазменные реакции, в частности – расщепление молекул на радикалы. Если ионы плазмы не находят партнеров по реакции, в доли секунды происходит их рекомбинация в нейтральный атом. Возврат атомов из возбужденного в основное состояние называют релаксацией. При этом тоже испускается электромагнитное излучение. Оно придает плазме ее характерный цвет.