Glossaire de la technologie de surface

Recombinaison

Inversion de l'ionisation par réunion d'électrons libres et d'ions positifs. Lors de la recombinaison, l'énergie investie pour l'ionisation est à nouveau libérée. Cette énergie est émise sous forme de rayonnement ultraviolet. Ce rayonnement UV provoque d'autres réactions plasmatiques, en particulier la division des molécules en radicaux. Si les ions d'un plasma ne trouvent pas de partenaire de réaction, ils se recombinent à l'atome neutre en une fraction de seconde. Le retour des atomes d'un état excité à l'état fondamental est appelé relaxation. Un rayonnement électromagnétique est également émis pendant ce processus. Il confère au plasma sa couleur caractéristique.

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