PDMS

силиконов , используемый особенно часто и разнообразно. Все силиконы в целом являются повторяющимся силоксановым блоком, состоящим из одной Si-O-группы. К атому кремния могут быть разнообразными способами присоединены боковые группы. В случае с PDMS это метиловые группы CH_3. К полимеру могут быть присоединены различные концы цепей. Часто встречается группа триметилсилоксил Si-SH₃. Самой короткой молекулой, состоящей только из обеих концевых групп без мономерных блоков диметилсилоксана, является гексаметилдисилоксан HMDSO, имеющий большое значение как технологический газ для гидрофобного плазменного нанесения покрытий. PDMS – это линейные полимеры, присутствующие в жидком состоянии до очень высоких молярных масс. Они могут быть сшиты и в этом случае будут обладать эластомерными свойствами. PDMS является почти инертным полимером, обладающим очень высокой стойкостью к окислению. Он может использоваться как электрический изолятор в органической электронике (микроэлектроника или полимерная электроника), а также в биологической микроаналитике. Одна из самых частых областей применения плазмы низкого давления в случае с PDMS приходится на микрофлюидные системы. Определенный полидиметилсилоксан (например, Sylgard 184) структурируется заказчиком в соответствии с применением, затем может быть выполнена плазменная обработка и необратимо стеклянную пластину, кремниевую поверхность или прочий субстрат нанесен PDMS-чип. Преимущества плазменной обработки для микрофлюидных систем:

• Короткое время процесса
• Необратимые соединения PDMS с поверхностью субстрата, и за счет этого – формирование непроницаемых каналов микрофлюидного элемента
• Гидрофилизация PDMS и поверхности субстрата, благодаря этому – полное смачивание каналов
• Формирование гидрофильных-гидрофобных участков

Применение микрофлюидных систем:

• Исследование химических реакций и потоков жидкостей в микромасштабе
• Регистрация биологических организмов
• Быстрая клиническая диагностика и контроль на наркотики при медицинских обследованиях

Характеристики предварительной обработки PDMS

• Технологический газ: кислород (O₂) или окружающий воздух
• Давление: 0,1 – 1,0 мбар
• Генератор: 13,56 МГц при мощности 50 – 300 Вт
• Время процесса: 10 – 60 секунд

Проекты с использованием установок Diener electronic GmbH + Co. KG для предварительной обработки микрофлюидных систем из PDMS:

• Olaf Dössel, Wolfgang C. Schlegel. «World Congress on Medical Physics and Biomedical Engineering September 7 - 12, 2009 Munich, Germany: Vol. 25/IX Neuroengineering, Neural Systems, Rehabilitation and Prosthetics (IFMBE Proceedings)»
• Alain Carra(c), Kash L. Mittal (Autor). Superhydrophobic Surfaces