
Микроволновая плазма
плазма. Плазма не контактирует с магнетроном, ответственным за возбуждение. Плотность плазмы и доля радикалов очень высоки в микроволновой плазме. Благодаря этому обеспечивается высокая скорость травления.
info@plasma.com
+49 7458 999 31 0
service@plasma.com +49 7458 999 31 200

плазма. Плазма не контактирует с магнетроном, ответственным за возбуждение. Плотность плазмы и доля радикалов очень высоки в микроволновой плазме. Благодаря этому обеспечивается высокая скорость травления.