Микроволновая плазма

плазма. Плазма не контактирует с магнетроном, ответственным за возбуждение. Плотность плазмы и доля радикалов очень высоки в микроволновой плазме. Благодаря этому обеспечивается высокая скорость травления.

вернуться к глоссарию

+49 7458 99931-0

Поговорите с экспертом

info@plasma.com

Напишите нам

Запросить предложение

Вы точно знаете, что ищете