Plasma micro-ondes

Il s'agit d'un plasmaexcité par la technologie micro-ondes. Le plasma n'est pas en contact avec le magnétron responsable de l'excitation. La densité plasmatique et la proportion de radicaux sont très élevées dans le plasma micro-ondes. Ceci permet d'atteindre des vitesses de gravure particulièrement élevées.

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