Plasma micro-ondes

Il s'agit d'un plasmaexcité par la technologie micro-ondes. Le plasma n'est pas en contact avec le magnétron responsable de l'excitation. La densité plasmatique et la proportion de radicaux sont très élevées dans le plasma micro-ondes. Ceci permet d'atteindre des vitesses de gravure particulièrement élevées.