Mikrowellenplasma

Durch die Mikrowellentechnik angeregtes Plasma. Das Plasma steht mit dem Magnetron, dass für die Anregung verantwortlich ist, nicht in Kontakt. Die Plasmadichte und der Anteil an Radikalen sind in Mikrowellenplasma sehr hoch. Dadurch lassen sich besonders hohe Ätzraten erzielen.