Негативный фоторезист

Фоторезист, хорошо растворимый в щелочных кислотах (проявителях). При экспонировании молекулы сшиваются, и растворимость значительно снижается. После экспонирования и последующей проявки удаляются только неэкспонированные участки, экспонированные остаются в стабильном состоянии.