Глоссарий технологии обработки поверхностей
Функционализация
плазмы , изменяется ее химический состав, и образуются свободные радикалы в близком к поверхности и охватывающем несколько слоев молекулграничном слое. В случае с молекулярными газами N2, O2 и NH3 возможно дополнительное внесение атомов газов в поверхность. Эти функциональные группы способствуют изменению свойств поверхности.
