Электронная трансмиссионная микроскопия (TEM)

электронами высокой энергии. Для этого образец должен иметь достаточно малую толщину. Электронный луч при прохождении через самый тонкий слой теряет интенсивность из-за рассеяния электронов на ядрах атомов образца. Электроны на незначительный угол отклоняются от прямого пути луча. При построении изображения используются только электроны, проникающие через пробу без рассеяния. Контраст изображения основан на интенсивности потерь на рассеяние проникающего потока электронов. Эти потери зависят, кроме прочего, от толщины, плотности и кристаллических дефектов пробы.