Microscopie électronique à transmission (MET)

Cette méthode la plus ancienne de microscopie électronique est utilisée pour la reproduction structurale dans des systèmes à couches minces. À l'encontre du microscope électronique à balayage, le matériau de l'échantillon est irradié par des électrons à haute énergie. Pour cela, l'échantillon doit être dilué à une faible épaisseur. En traversant la couche la plus mince, le faisceau d'électrons subit des pertes d'intensité dues à la diffusion des électrons au niveau des noyaux des atomes de l'échantillon. Ils sont de ce fait déviés en petits angles par rapport à la trajectoire rectiligne du faisceau. Seuls les électrons pénètrant dans l'échantillon sans diffusion sont utilisés pour la formation de l'image. Le contraste de l'image résulte de l'intensité des pertes de diffusion pendant la traversée du faisceau d'électrons. Ces pertes de diffusion dépendent, entre autres, de l'épaisseur, de la densité et des défauts cristallins de l'échantillon.