Microscopia elettronica a trasmissione (TEM)

Questo metodo antichissimo di microscopia elettronica viene utilizzato per l'imaging strutturale in sistemi a strato sottile. Contrariamente al microscopio elettronico a scansione, il campione viene irradiato con elettroni ad energia elevata. A tale scopo, il campione deve essere assottigliato fino ad uno spessore esiguo. Passando attraverso lo strato più sottile, il fascio di elettroni subisce perdite di intensità dovute alla dispersione degli elettroni nei nuclei degli atomi del campione. Di conseguenza, essi vengono deviati con piccole angolazioni dal percorso rettilineo del fascio di luce. Per la formazione dell'immagine vengono utilizzati solo gli elettroni che penetrano nel campione senza dispersione. Il contrasto dell'immagine è dato dall'intensità delle perdite di diffusione del fascio continuo di elettroni. Le perdite di dispersione dipendono ad es. dallo spessore, dalla densità e dai difetti cristallini del campione.