Microscopio electrónico de transmisión (TEM)
Este método de microscopía electrónica, de notable antigüedad, se utiliza para representar estructuras en sistemas de capa fina. A diferencia del microscopio electrónico de barrido, el material de la muestra se irradia con electrones de alta energía. Para ello, debe reducirse el espesor de la muestra a un valor bajo. El haz de electrones sufre pérdidas de intensidad al pasar por dicha finísima capa debido a la dispersión de los electrones en los núcleos de los átomos de la muestra. Esto provoca que se desvíen del recorrido recto del haz en un ángulo pequeño. Para crear la imagen, solamente se utilizan aquellos electrones que atraviesan la muestra sin dispersión. El contraste de la imagen se debe a la intensidad de las pérdidas por dispersión del haz de electrones pasante. Dichas pérdidas dependen, entre otros, del espesor, de la densidad y de los defectos en la red cristalina de la muestra.