Recubrimiento iónico

Método de tratamiento de superficies metálicas asistido por plasma. En el recubrimiento iónico, en primer lugar, se limpia la superficie del sustrato mediante bombardeo de iones en plasma. A continuación, se suministra vapor metálico procedente de una fuente de vaporización, que se ioniza parcialmente en el plasma y se acelera hacia la superficie del sustrato precalentado mediante tensión previa negativa. De este modo, se desarrolla una capa de metal vaporizado en el sustrato a la vez que sigue extrayéndose (por sputtering) parte de dicho sustrato o de dicha capa mediante bombardeo de iones. La estructura de la capa resultante depende en gran medida de la temperatura del sustrato.

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