Глоссарий технологии обработки поверхностей
Обработка пленок
плазме (наносить покрытия или активировать). Установки, в которых пленка проходит снаружи через область высокого вакуума, непрактичны, поэтому установки для обработки пленок в большинстве случаев представляют собой многокамерные системы, в которых наматывание и разматывание происходят в вакууме , а сама обработка – в высоком вакууме.