Glossaire de la technologie de surface
Nitrure de silicium
Le Si3N4, matériau amorphe, dur et chimiquement résistant, sert de barrière de diffusion contre l'eau et les ions alcalins. Fabriqué selon le procédé PACVD à partir de SiH4 et NH3, très important dans la technologie des semi-conducteurs.
