
Glossaire de la technologie de surface
Plasma inductif
Plasma, dans lequel les électrons ne sont pas excités par un champ électrique alternatif mais par une bobine d'induction externe sous tension alternative. Le plasma qui en résulte est stable en vide grossier jusqu'à la pression normale. La température d'une telle « flamme plasma » se situe dans une plage de 10000 à 20000 K.