Lexikon der Oberflächentechnik

Induktives Plasma

Plasma, in dem die Elektronen nicht durch ein elektrisches Wechselfeld, sondern durch eine externe Induktionsspule unter Wechselspannung angeregt werden. Das resultierende Plasma ist stabil bei Grobvakuum bis Normaldruck. Die Temperatur einer solchen "Plasma-Flamme" liegt im Bereich 10000 bis 20000 K.

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