等离子工艺流程
技术数据
Zepto One
半自动 千赫 / 半自动 兆赫
尺寸
宽: 269 mm 高: 176 mm 深: 324 mm
电源
230 V | 16 A
真空室
硼硅玻璃
圆形, 带盖
Ø: 105 mm
深: 200 mm
容积 1.7 L
供气
1 x 针阀
发电机
100 千赫 | 功率输出 0 - 30 W
13,56 兆赫 | 功率输出 0 - 30 W
电极
真空室外的电极对
控制装置
半自动控制装置
电源
230 V | 50 - 60 Hz
压力测量
-
泵
最小吸入量 3 m³/h
Zepto
半自动 千赫 / 半自动 兆赫
尺寸
宽: 425 mm 高: 185 mm 深: 450 mm
电源
真空室
硼硅玻璃
圆形, 铰链门
Ø: 105 mm
深: 300 mm
容积 2.6 L
供气
2 x 针阀
发电机
40 千赫 | 功率输出 0 - 100 W
13,56 兆赫 | 功率输出 0 - 200 W
电极
真空室外的电极对
控制装置
半自动控制装置
电源
230 V | 50 - 60 Hz
压力测量
皮拉尼
泵
最小吸入量 3 m³/h
Zepto
电脑 千赫 / 电脑 兆赫
尺寸
宽: 425 mm 高: 185 mm 深: 450 mm
电源
真空室
硼硅玻璃
圆形, 铰链门
Ø: 105 mm
深: 300 mm
容积 2.6 L
供气
2 x MFC
发电机
40 千赫 | 功率输出 0 - 100 W
13,56 兆赫 | 功率输出 0 - 200 W
电极
真空室外的电极对
控制装置
7" 基本 PC 控制装置（Windows Embedded Compact 7
电源
230 V | 50 - 60 Hz
压力测量
皮拉尼
泵
最小吸入量 3 m³/h
Zepto RIE
半自动 兆赫
尺寸
宽: 425 mm 高: 310 mm 深: 450 mm
电源
230 V | 16 A
真空室
铝
圆形, 带盖
Ø: 190 mm
高: 60 mm
容积 1 L
供气
2 x 针阀
发电机
13,56 兆赫 | 功率输出 0 - 200 W
电极
真空箱内的电极 - 直径：160 毫米，用于最大 6 英寸晶片
控制装置
半自动控制装置
电源
230 V | 50 - 60 Hz
压力测量
皮拉尼
泵
最小吸入量 3 m³/h
