真空泵

在等离子体技术中最常用哪种真空泵?

真空泵用于在等离子设备的接收器中生成真空。

在等离子体技术中最常用的真空泵如下所述:

1. 旋片泵

旋片泵由一个外壳组成,外壳中的转子偏心转动。外壳内部具有弹簧加载型叶片,叶片顶住外壳内壁,并沿内壁滑动。气体被压缩集中在吸入侧,直至其超过环境压力,然后排气阀打开至高压侧。

泵在油浴中运转。这具有以下优点:

  • 密封吸入侧和高压侧
  • 降低摩擦

旋片泵特别用于我们的标准设备。泵越大,工艺时间就越短。

如果用氧气工作,则泵必须为此进行相应的准备。泵的外壳中会产生油雾。如果使用的是矿物油,那么这种油雾与纯氧气结合会具有爆炸性

两种方法可以解决这个问题:

1. 用 PFPE-油充注泵。这种油是非易燃性的。但是其还有一些严重的缺点:

  • PFPE 油价格极其昂贵
  • 等离子工艺流程期间,这种油会发生分解,并且会产生剧的化合物(例如,全氟异丁烯)。仅这些油化合物便已经会发生危险事故了。
  • PFPE 油必须作为险废物危进行回收处理。
旋片泵工作方式

2. Spülung

Die Pumpen werden mit Luft oder N2 gespült. Diese Lösung sollte bevorzugt werden. Falls bei den Prozessen die Gefahr besteht, dass giftige Verbindungen entstehen können, muss der Pumpe ein Filter nachgeschaltet werden. Dies ist z.B. bei allen Prozessen mit Tetrafluormethan der Fall.

Funktionsweise Luftspülung Vakuumpumpe

2. 干运行泵适用于腐蚀性气体工艺

我们对由 Busch(例如,型号 Cobra)公司和 Edwards 公司出品的,所谓的“干运行螺杆泵”具有丰富的经验。

3. 摇杆式回转泵(鲁茨泵)

旋片泵所产生的压力会受到限制。为了加强抽吸性能,建议与摇杆式回转真空泵组合使用。其构成了所谓的泵站。典型组合如下所述:

1. 第一个泵(例如,一个旋片泵)生成预真空。其被称为“前级泵”。

2. 作为第二个泵,通常使用一个摇杆式回转泵。

辊子柱塞泵
辊子柱塞泵功能图

哪些泵最适合您的工艺流程,我们乐意为您提供相关咨询。