真空泵

在等离子体技术中最常用哪种真空泵?

真空泵用于在等离子设备的接收器中生成真空。

在等离子体技术中最常用的真空泵如下所述:

1. 旋片泵

旋片泵由一个外壳组成,外壳中的转子偏心转动。外壳内部具有弹簧加载型叶片,叶片顶住外壳内壁,并沿内壁滑动。气体被压缩集中在吸入侧,直至其超过环境压力,然后排气阀打开至高压侧。

泵在油浴中运转。这具有以下优点:

  • 密封吸入侧和高压侧
  • 降低摩擦

旋片泵特别用于我们的标准设备。泵越大,工艺时间就越短。

如果用氧气工作,则泵必须为此进行相应的准备。泵的外壳中会产生油雾。如果使用的是矿物油,那么这种油雾与纯氧气结合会具有爆炸性

两种方法可以解决这个问题:

1. 用 PFPE-油充注泵。这种油是非易燃性的。但是其还有一些严重的缺点:

  • PFPE 油价格极其昂贵
  • 等离子工艺流程期间,这种油会发生分解,并且会产生剧的化合物(例如,全氟异丁烯)。仅这些油化合物便已经会发生危险事故了。
  • PFPE 油必须作为险废物危进行回收处理。
旋片泵工作方式

2. 干运行泵适用于腐蚀性气体工艺

我们对由 Busch(例如,型号 Cobra)公司和 Edwards 公司出品的,所谓的“干运行螺杆泵”具有丰富的经验。

3. 摇杆式回转泵(鲁茨泵)

旋片泵所产生的压力会受到限制。为了加强抽吸性能,建议与摇杆式回转真空泵组合使用。其构成了所谓的泵站。典型组合如下所述:

1. 第一个泵(例如,一个旋片泵)生成预真空。其被称为“前级泵”。

2. 作为第二个泵,通常使用一个摇杆式回转泵。

辊子柱塞泵
辊子柱塞泵功能图

哪些泵最适合您的工艺流程,我们乐意为您提供相关咨询。