清洗源

等离子清洗源

Diener electronic 公司的等离子体清洗源

等离子体清洗源是干运行真空泵(例如,鲁茨泵或者螺杆泵)的可选性废气清洗装置。

针对不同的等离子设备,提供了匹配的干运行真空泵,例如,鲁茨泵或者螺杆泵,即便可以落实相应的等离子工艺。设备反复运转,这些泵会在等离子应用期间被液体残留物所污染,从而造成真空泵的功能受限。

由 Diener electronic 公司所研发和生产,并已申请了专利的等离子体清洗源,是一种真空泵的保护装置,其可以对中空腔室进行清洗。

等离子体清洗源主要有一个工艺气体进气口和至中空腔室的排气口,以及一个位于中空腔室内或旁用于生成等离子体的电极所组成的。可随时去除中空腔室中的沉积物,同时还可以从一开始便避免产生沉积物。这样可以确保真空泵使用寿命较长。